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上海溪瑾新材料科技有限公司
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服務(wù)項目
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電子氣體
產(chǎn)品規(guī)格
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項目項目 Items |
單位 Unit |
企業(yè)標準 Company Standard |
檢測結(jié)果 Test Results |
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SF6 |
Vol.% |
≥99.995 |
≥99.999 |
99.998 |
99.9997 |
|
CF4 |
Vol.% |
≥99.995 |
≥99.999 |
99.998 |
99.9997 |
|
NF3 |
Vol.% |
≥99.99 |
≥99.996 |
99.99 |
99.998 |