上海溪瑾新材料科技有限公司
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氣體名稱 |
化學(xué)式 |
純度(%) |
雜質(zhì)（ppm） |
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氮?dú)?/span> |
N2 |
99.999% |
O2≤3, H2≤1, CO≤1, CO2≤1, CH4≤1, H2O≤3 |
|
99.9999% |
H2O≤0.2, O2≤0.2, H2≤0.1, CO2≤0.1, CO≤0.1, CH4≤0.2 |
||
|
氫氣 |
H2 |
99.999% |
O2≤1, N2≤5, CO≤1, CO2≤1, CH4≤1, H2O≤3 |
|
99.9999% |
H2O≤1, O2≤0.2, N2≤0.4, CO2≤0.1, CO≤0.1, CH4≤0.2 |
||
|
氧氣 |
O2 |
99.999% |
H2≤0.5, Ar≤2, N2≤5, CO2≤0.5, total hydrocarbon≤0.5, H2O≤2 |
|
99.9999% |
H2≤0.1, Ar≤0.2, N2≤0.1, CO2≤0.1, total hydrocarbon≤0.1, H2O≤0.5 |
||
|
氬氣 |
Ar |
99.999% |
H2≤0.5, O2≤1.5, N2≤4, CH4+CO+CO2≤1, H2O≤3 |
|
99.9999% |
H2O≤0.2, O2≤0.2, H2≤0.1, CO2≤0.1, CO≤0.1, CH4≤0.2, N2≤0.5 |
||
|
氦氣 |
He |
99.999% |
O2≤1, H2O≤2, H2≤1, 總烴≤3 |
|
99.9999% |
H2O≤0.2, O2≤0.2, H2≤0.1, CO2≤0.1, CO≤0.1, CH4≤0.2, N2≤0.5 |
||
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二氧化碳 |
CO2 |
99.999% |
O2≤1, H2O≤2, N2≤5, CO≤1, HC≤1 |
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一氧化碳 |
CO |
99.5% |
H2≤3180，N2≤1350, O2≤60, H2O≤50 |
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99.95% |
N2≤350, O2≤50, H2O≤5 |
||
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二氧化硫 |
SO2 |
99.9% |
O2+N2≤100, H2O≤10, 其他≤200 |
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硫化氫 |
H2S |
99.9% |
SO2<100，CO2<300，H2O<5 |
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一氧化氮 |
NO |
99.5% |
N2O≤4000, NO2≤2000, N2≤300, CO≤500 |
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二氧化氮 |
NO2 |
99.9% |
N2≤20, O2≤5, H2O≤50 |
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氧化亞氮(笑氣) |
N2O |
99.99% |
CO2 <0.5, CO<0.1, total hydrocarbon<0.1, N2<90, O2<5, H2<2，Ar<0.5, H2O<1.0 |