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氣體名稱 |
化學(xué)式 |
純度(%) |
雜 質(zhì)（ppm） |
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氖 |
Ne |
99.99% |
N2≤100 CO2≤1 CH4≤1 |
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99.999% |
O2≤1, N2≤5, H2O≤2, He≤10 |
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氪 |
Kr |
99.95% |
Xe≤50 N2≤1.5 O2+Ar≤5 H2≤2 CO2≤1 CO≤1 CH4≤1 H2≤3 |
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99.99% |
N2≤20 O2+Ar≤5 H2≤2 總碳≤1 H2O≤3 Xe≤50 總雜質(zhì)含量≤100 |
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99.995% |
N2≤10 O2+Ar≤2 H2≤1 總碳≤1 H2O≤3 Xe≤3 總雜質(zhì)含量≤10 |
||
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99.999% |
N2≤3 O2+Ar≤2 H2≤0.5 總碳≤1 H2O≤2.6 Xe≤4 總雜質(zhì)含量≤10 |
||
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99.9999% |
Xe≤0.01, O2≤0.08, N2≤0.43, CO2≤0.12, CH4≤0.1, H2O≤0.1, CF4≤0.01, C4F6≤0.01 |
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氙 |
Xe |
99.95% |
CO2≤5 CH4≤5 CH4≤1 N2O≤5 H2O≤5 |
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99.99% |
N2≤20 O2+Ar≤5 H2≤2 總碳≤3 H2O≤3 Kr≤30 N2O≤1 總雜質(zhì)含量≤100 |
||
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99.995% |
N2≤10 O2+Ar≤4 H2≤1 總碳≤2 H2O≤3 Kr≤30 N2O≤1 總雜質(zhì)含量≤100 |
||
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99.999% |
N2≤1 O2+Ar≤2 H2≤0.5 總碳≤1 H2O≤2.5 Kr≤5 N2O≤0.5 總雜質(zhì)含量≤10 |
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99.9999% |
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氦氣 |
He |
99.999% |
O2≤1, H2O≤2, H2≤1, 總烴≤3 |
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99.9999% |
H2O≤0.2, O2≤0.2, H2≤0.1, CO2≤0.1, CO≤0.1, CH4≤0.2, N2≤0.5 |